介紹金屬蝕刻的特點(diǎn)

　　金屬蝕刻鉆孔工藝包括直接電介體鉆孔、共形掩膜鉆孔和完孔成形三種。直接電介體鉆孔是用CO2激光束照射材料表面，每發(fā)出一次激光脈沖就有一部分材料被蝕刻掉，然后在下一步工序中對(duì)材料整個(gè)表面進(jìn)行電鍍。

　　金屬蝕刻工藝的特點(diǎn)是鉆孔速度快，但由于CO2激光的分辨率太低，其孔徑不能低于0.004吋（100um）；另外未覆銅材料還存在共面和精確度等問題。共形掩膜鉆孔是用CO2激光在覆銅層已經(jīng)經(jīng)過腐蝕的電介材料上鉆孔。在光刻工藝中，覆銅層通過化學(xué)方法先作完腐蝕，這時(shí)它就如同一個(gè)掩膜，使CO2激光只作用于電介材料上。目前使用的是無需裝備外部的較新式射頻激勵(lì)密封CO2激光，這種激光束具有質(zhì)量好（TEM00）、重復(fù)率高（20kHz以上）及持久耐用等特點(diǎn)。將這些特點(diǎn)和快速掃描儀（每秒超過1，000點(diǎn)）及快速操縱系統(tǒng)如帶線性馬達(dá)（較高2，500IPM）的工作臺(tái)等結(jié)合起來，可以使鉆孔速度達(dá)到每分鐘60，000孔（1mm間隔）。

　　由于覆銅層已預(yù)先腐蝕掉，所以孔的直徑與激光波長(zhǎng)無關(guān)，在25um至250um之間。完孔成形使用兩種激光，即UV激光與CO2激光，目前較新的金屬蝕刻技術(shù)是固態(tài)UV激光，它利用二極管吸收方式激勵(lì)激光棒。一個(gè)典型的完孔成形系統(tǒng)可產(chǎn)生兩種激光：吸收二極管產(chǎn)生的355umUV激光（脈沖重復(fù)率高達(dá)100kHz）以及CO2激光。UV激光用來除去銅層，為了適應(yīng)生產(chǎn)的需要，多數(shù)激光鉆孔系統(tǒng)都帶有自動(dòng)化裝置。

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